国产离子注入机登岸大产线

　　6月18日，从电科装备旗下烁科中科信公司传来喜信，公司研发的12英寸中束流离子注入机顺遂发往某集成电路大产线，这台由客户直接采购的装备准期交付，标志着公司国产离子注入机市场化进程再上新台阶。

　　据先容，离子注入机是将特定种类离子以指定参数注入至特定质料中的一种装备，执行的是焦点的掺杂工艺。半导体要做成器件，要改变电性能，必须掺入杂质，离子注入机就是执行掺杂工艺的尺度装备。“每一个器件生产历程中，需要举行许多次离子注入，注入到器件差别的位置，注入的次数对于差别器件类型和工艺节点有差异，比方对于28nm逻辑器件，注入次数约为40次。”烁科中科信公司技能总监张丛先容说。

　　目前，海内集成电路离子注入装备市场险些被外洋垄断，国产装备市场份额小，烁科中科信是我国目前唯一的一家全系列集成电路离子注入机集研发、制造、服务于一体的供应商。在研发历程中，研发团队攻克了光路、晶圆传输、剂量控制、通用软件体系等离子注入机共性要害技能。中束流离子注入机突破了高精度束流角度控制、小发射度长寿命离子源等要害技能，大束流离子注入机则进一步突破了低能大流强束流传输与控制、支持十余种离子的大流强长寿命离子源等要害技能，高能离子注入机在高能(MeV)离子加速、高电荷态离子源等要害技能上实现了突破。

　　追平主流只是开始，成体系实现国产替换才是目标。“烁科中科信公司已形玉成系列离子注入机产物体系，建立了切合SEMI尺度要求的离子注入机产业化平台，年产能达30台，公司的产物遍及应用于全球知名芯片制造企业，并获客户高度认可。”张丛说，公司自主研制的离子注入机系列产物还斩获了北京市科学技能进步一等奖等多项荣誉，在客户产线上累计跑片650万片，稳定支持了客户量产。除此之外，还建立了一支专业化的售后服务团队，实行7×24小时相应机制，连续提升客户体验，加速国产化进程。

　　公司卖力人说，将进一步围绕攻克焦点要害技能连续发力，推进中束流和大束流离子注入机产业化，同时，紧跟先进工艺发展，开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发事情，并不停拓展离子注入机在新兴领域的应用。